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一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉
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专利号 CN202122226371.X
专利权人 卢其才
专利类型 新型专利
领域类型 化学;冶金
有效日期 2031-09-15
法律状态 有效
合作类型 转让
价格: 5200
专利详情
过户资料
安全保障

摘要

本实用新型公开了一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,包括底座和箱体,所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体,所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体,所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架,所述安装架的一侧固定安装有加热器,所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架。本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置,实现了均匀喷洒的效果,使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应,大大提高了太阳能电池片的质量,通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置,防止气体出现泄漏的现象,大大增强了装置整体密封的效果①

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