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一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机
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专利号 CN202022292626.8
专利权人 江苏金圣硅基新材料研究院有限公司
专利类型 新型专利
领域类型 作业;运输
有效日期 2030-10-15
法律状态 有效
合作类型 转让
价格: 5200
专利详情
过户资料
安全保障

摘要

本实用新型公开了一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机,包括刻蚀机本体,所述刻蚀机本体的正面设置有放置槽,所述放置槽内腔的顶部固定连接有气箱,所述放置槽内腔的底部固定连接有工作台,所述刻蚀机本体的内腔固定连接有挡板。本实用新型通过工作台、挡板、液压伸缩缸、除尘机构、风机、除尘箱、过滤网和软管的配合,将器件放置在凹槽中,液压伸缩缸带动气腔向上移动,同时风机通过除尘箱和软管将器件表面的灰尘进行吸附,避免在刻蚀过程中有灰尘漂浮在器件上,降低刻蚀精度,过滤网对灰尘进行过滤,保证风机排出气体的洁净,从而达到除尘功能的效果,解决了现有装置不具备除尘功能的问题。

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