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一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机
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专利号 CN202122036990.2
专利权人 杨绕红
专利类型 新型专利
领域类型 电学
有效日期 2031-08-27
法律状态 有效
合作类型 转让
价格: 5200
专利详情
过户资料
安全保障

摘要

本实用新型公开了一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机,包括刻蚀机本体,所述刻蚀机本体的底部固定连接有底座,所述底座的两侧均固定连接有控制壳,所述控制壳的内腔设置有推板,所述推板的顶部固定连接有拉簧,所述推板的前侧固定连接有拨块。本实用新型通过设置推板、拉簧、拨块、定位壳、移动轮、调节板、卡杆、液压缸、支撑板、电机、螺纹杆、螺纹套、推块、升降壳、活动板、挤压块、弹性片、稳定板和支撑杆,解决了现有具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机不方便进行移动的问题,该具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机,具备便于移动,不需要专用吊装设备的优点,值得推广。

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