摘要

本实用新型公开了一种芯片生产用具备内部空气循环净化功能的刻蚀机,包括箱体,所述箱体内腔的底部固定连接有承载板,所述承载板的顶部活动连接有芯片本体,所述芯片本体的顶部活动连接有掩模,所述箱体内腔的两侧均开设有凹槽,所述凹槽内腔的顶部固定连接有电动推杆。本实用新型通过箱体、承载板、芯片本体、掩模、凹槽、电动推杆、移动块、连接板、压板、输液板、进液管、通液盒、连接管、吸气板、吸气管、净化箱、第一过滤板、光催化剂板、紫外线灯、第二过滤板、风机、排气管和集液盒的配合,使芯片刻蚀机可以通过气体净化机构对工作腔内部的空气进行循环净化,以此实现了芯片刻蚀机具备空气循环净化功能的优点⊙