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一种半导体加工用废料收集设备
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专利号 CN202122018442.7
专利权人 林虹虹
专利类型 新型专利
领域类型 作业;运输
有效日期 2031-08-25
法律状态 有效
合作类型 转让
价格: 5000
专利详情
过户资料
安全保障

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域,且公开了一种半导体加工用废料收集设备,包括外壳,所述外壳的内部开设有滑槽,所述外壳的外壁固定安装有电机,所述电机的输出轴通过联轴器固定安装有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹块,所述螺纹块的外壁固定安装有连接板,所述连接板的底部固定安装有限位桶,所述限位桶的内壁滑动连接有限位柱,所述限位柱的一端固定安装有挡板,所述挡板的顶部固定安装有弹簧,所述挡板的底部固定安装有刮板,所述外壳的底部固定安装有限位板。该半导体加工用废料收集设备,可以使得该装置便于对废料进行刮除清理,提升了工作人员清理的效率,同时刮板具有一定的缓冲性,避免了刮除过程中对工作台的损耗。

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