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一种冷水冲洗式微电子制造用划片机
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专利号 CN202122069270.6
专利权人 姜鑫宇
专利类型 新型专利
领域类型 作业;运输
有效日期 2031-08-31
法律状态 有效
合作类型 转让
价格: 5000
专利详情
过户资料
安全保障

摘要

本实用新型涉及微电子技术领域,具体地说,涉及一种冷水冲洗式微电子制造用划片机。其包括支撑台和支撑台上方的水浴冲洗切割装置,支撑台顶部边缘处设有调节叉,水浴冲洗切割装置包括调节块,调节块端部活动连接在调节叉内部,调节块侧壁设有防护罩,防护罩内部转动有切割盘,支撑台顶部开设有与切割盘对应的限位槽,调节块外壁嵌设有水箱,水箱内部通过水泵排水端连通有输送管,输送管端部连通有弧形喷板,弧形喷板嵌设在防护罩内部,弧形喷板底部等间距开设有多个喷头,喷头位于防护罩内部。本实用新型可以对原料板切割处进水有效散热,且可以循环利用水资源,方便清理。

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