摘要

本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体、靶材、电机、连接轴、下支撑盘、顶针、摩擦轮、摩擦带、挤压环、从动支撑模块,所述连接轴的上端固定连接摩擦轮;所述下支撑盘上的圆柱形槽内固定连接挤压环的外侧表面;所述挤压环的内侧均匀设置一组半球凸起;本发明通过设置顶针下端的圆盘的表面与摩擦轮的圆柱表面接触,挤压环上的半球凸起与顶针下端的圆盘交错设置,挤压环与顶针下端的圆盘之间设有摩擦带,在壳体上端设置从动支撑模块,实现下支撑盘上方的待镀工件既绕着连接轴转动又绕着顶针自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀。