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一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置
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专利号 CN201811188722.9
专利权人 温州崎芳新能源有限公司
专利类型 发明专利
领域类型 化学;冶金
有效日期 2038-10-12
法律状态 有效
合作类型 转让
价格: 面议
专利详情
过户资料
安全保障

摘要

本发明涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置,包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置,所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置,生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置,氩气缓冲装置包括氩气管,生长炉侧壁的上端设有通孔,通孔内连接有氩气管,氩气管为弧形结构,氩气管的出口处安装有缓冲垫,缓冲垫上均匀设有出气孔,氩气管外侧壁的上端安装有连接箱,氩气管的上端面安装有连接杆。本发明可以解决阀门控制氩气充入量时,氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题,可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能,具有对氩气进行缓冲,减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。

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