摘要

本发明为一种高温压力传感器,其包括主芯片,所述主芯片具有位于第一层的衬底、位于第二层的弹性膜、位于第三层的一对金属电极及连接该对金属电极的敏感电阻层,所述高温压力传感器还具有与所述主芯片贴合的盖板,所述盖板具有开口朝向所述主芯片方向的收容腔,所述金属电极与敏感电阻层密封于所述收容腔与所述弹性膜围设的密封腔内,所述高温压力传感器还包括分别与所述金属电极连接的一对导引线并延伸出所述密封腔。所述金属电极与敏感电阻层由于金属电极与弹性膜被密封在真空腔,或者接近真空腔内,令金属电极与敏感电阻层不容易氧化而提高整个传感器更能在高温下工作,可以使传感器在600℃的使用温度条件下的寿命达到1000小时。