摘要

本发明公开了一种制备具有高的衍射效率和成像分辨率的X射线衍射光学聚焦元件的制造方法,使用了原子层沉积与聚焦离子束相结合的技术,选用金属钨丝作为X射线衍射光学聚焦元件的中心衬底细丝起到阻挡零级光的作用,并且在原子沉积前使用高能量离子注入机将金属钨细丝进行表面改性增强了与原子沉积薄膜的结合牢固度,给出了原子沉积的优化参数,可以获得较高的沉积速率和可靠的薄膜厚度可控性,从而得到的光学聚焦元件具有高的衍射效率和成像分辨率⊙