摘要

本发明提供了一种双波长复合能量分布的台式激光精密清洗装置,包括工作台、X Y电动模组、旋转台组件、激光清洗组件和Z向升降台;X Y电动模组固定安装在工作台上,旋转台组件安装在X Y电动模组上,Z向升降台安装在工作台上,激光清洗组件安装在Z向升降台的升降板上;所述激光清洗组件包括激光器、传输光纤、吹气喷嘴、激光测距传感器、振镜扫描系统和双波长复合整形系统;所述激光器发射的激光束经传输光纤的传输,入射至双波长复合整形系统;所述双波长复合整形系统输出双波长复合整形光束,再经振镜扫描系统后聚焦于材料表面。本发明增强了清洗的均匀性和精细程度,并且环形间隔有效减小了对材料基底的损伤特性,使清洗质量得到大幅度提高。