摘要

本发明公开了一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺,包括步骤(1),提供一导向杆的碳素钢基材,打磨其表面后放置于酸性溶液中,洗涤后再水洗干燥;步骤(2),利用霍尔气体离子源对预处理后的基材进行气体轰击来强化基材表面,步骤(3),采用Nd:YAG脉冲激光打孔器在基材表面打圆孔;步骤(4),采用磁过滤沉积技术在基材表面分别沉积ZrB2靶和MoS2靶,形成涂覆于基材表面的固体涂层,进而得到表面工艺处理后的导向杆。本发明制备得到的气动执行器应用的导向杆,具备优良的耐磨性、优异的耐腐蚀性、自润滑性和良好的硬度。