摘要

本发明公开了一种多光束阶梯平面角反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组,其中激光源包括n,个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数);经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器,同时分光镜内透射的另一束激光经过移动角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,显著提高了测量精度①