摘要

本发明涉及光刻技术领域,具体的说是一种衍射光栅刻蚀机,包括第一固定壳体、传送机构、第二固定壳体、刻蚀机构、送料机构、密封机构、调整机构及光刻机构,第一固定壳体内设有光刻机构,能够有效在硅胶板上投影,形成模型。第二固定壳体内设有刻蚀机构,能够有效利用投影的硅胶板进行刻蚀,制作实体产品。第一固定壳体和第二固定壳体之间设有传送机构,能够保持第一固定壳体和第二固定壳体的密封性的同时,将第一固定壳体内投影好的硅胶板传送至第二固定壳体内刻蚀,实现连续化生产。第一固定壳体内利用送料机构进行送料,送料的同时,利用密封机构保持密封,密封机构打开的时候,同时保证不会有外界光投入,保证进料时的密封性。