摘要

本发明公开了一种MEMS光纤压力传感器及制作方法,包括光纤、压力敏感元件和基座,所述基座的上表面设置有光纤槽,所述光纤安装在所述光纤槽内,所述压力敏感元件和基座的尺寸相同,所述压力敏感元件的下表面和基座的上表面通过阳极键合相互连接,所述光纤的一端与所述压力敏感元件之间相对间隔一定的距离从而形成法布里 珀罗腔;本发明具有体积小,能批量生产,制作方法简单,机械性能强,温度系数低,灵敏度高等优点。