摘要

本发明公开了一种氧化锌/氮化镓复合薄膜的制备方法,采用脉冲激光沉积法低温下制备氧化锌/氮化镓复合薄膜,不仅拓展了ZnO GaN复合材料的制备方法,可以实现高于600nm的可见光吸收,而且和粉体相比,在衬底上制备的ZnO/GaN复合薄膜更易于重复利用。本发明所制备薄膜粒径分布均匀,具有明显的可见光响应,带隙达到1.6eV。